시프터결함 - shifter defect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

위상 시프트 마스크에 있어서, 시프터패턴의 결함, 시프터 위상차의 부정합, 시프터 정렬의 부정합, 시프터 폭의 부정합, 시프터의투과율의 변화 등의 결함의 총칭.