삽입패턴위치부정합 - shift of inserted pattern

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 또는 웨이퍼 위에 다이 배치의 일부분이 정렬표시층(alignment mark) 등의 다른 패턴을 삽입할 때, 패턴의 중심이 다이의 중심과 어긋나는 것 또는, 어긋난 양