레지스트감도 - sensitivity of resist

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트에 패턴을 형성하기 위해 필요한 가시광선․자외선․X선․전자선 등을 비춰주는 양(조사량)