자기측정 - self - measurement

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

자기빔 묘화장치 자신을 측정수단으로 이용하여, 기판 위에 묘화가 끝난 패턴의 수치단위와 위치를 측정하는 것.