이차이온질량분석법 SIMS - secondary ion mass spectro - scopy

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

수 keV～20keV 범위의 에너지를 갖는 일차이온을 시료표면의 미소한 점에 충돌시켜, 표면물질을 스퍼터이온화하여, 질량분석로 분석하는 방법.

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