시즈닝 - seasoning

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

식각실의 세정(cleaning) 또는 부품교환 후에 공정조건을 안정시키기 위해 여러 번 더미웨이퍼(dummy wafer) 등을 이용하여 식각사이클(etching cycle)을 실시하는 것