스컴 - scum

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

현상후, 웨이퍼 개구부에 남아있는 잔재, 웨이퍼 위에 단독으로 남아있는 것과 레지스트 밑부분에 부수적으로 남아있는 것이 있다.