스케줄데이터 - schedule data

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전자빔 묘화장치에 마스크를 묘화할 때에 설정하는 다이(die)배치․사용데이터․전류치․묘화순서 등의 데이터.