주사식 투영 노광장치 - scanning projection aligner

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크패턴의 일부를 투영광학계를 이용하여, 웨이퍼에 투영하고, 마스크와 웨이퍼를 동기주사하여 마스크패턴 전체를 웨이퍼에 노광하는 노광장치.

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