Sato 에칭 - Sato etching

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

실리콘단결정의 결함을 광학적으로 평가하는 방법의 하나. 이것의 조성은 HF:HNO:CH3COOH:H2O=1:15:3:1의 약품으로, Wright 에칭액과 같은 식각특성을 갖고, 환경대책으로써, 크롬을 포함하지 않는 조성을 갖는다.