런아웃 - run out

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

두 대의 정렬마크를 이용하여 정렬할 경우, 마스크와 웨이퍼의 배율오차 때문에, 한 대를 정렬할 때, 다른 한 대에서 정렬오차가 발생하는 것. 또는 이 정렬오차.