로테이션 에러 다이로테이션 - rotational error

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스텝 앤드 리프트(step and lift)노광중 축에 관한 것으로, 패턴이 회전하면서 발생하는 각도의 부정합으로 인한 오차.