스핀모터 회전수 - rotation speed

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스핀도포기, 스핀디벨로퍼에 있어서 웨이퍼를 회전시키는 모터의 회전수를 가리키며, 일반적으로 [rpm](또는[rad/s])로 표현한다. 스핀도포를 할 때, 레지스트 막두께는 회전수에 의존하기 때문에 회전수의 안정이 막두께의 균일성, 재현성에 매우 중요하다.