로터리 척 - rotary chuck

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

위상시프트마스크를 제작할 때에 필요한 첫 번째 층의 노광과 두 번째 층의 노광의 회전방향의 부정합을 교정하는 기능을 가진 척