진공로봇 - robot for using in vacuum

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

진공실 안에서 기판을 이송하기 위해 사용되는 반송기구의 총칭. 마스크, 웨이퍼 등의 기판의 파티클(particle) 오염을 방지하기 위해, 접히는 부분이 적은 로봇이 사용되고 있다. 보통 직진․회전․상하운동의 기능을 가지고 있다.