고주파전원 - RF generater

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

플라즈마방전의 여기용으로 사용되는 전극. 발진주파수로서는 13.56MHz가 가장 많이 사용되고 있다. 보통 매칭기기가 같이 사용된다.