레벤슨형마스크 레벤슨형 PSM - Revenson type PSM

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

여러 개의 투광부들 중 하나 걸러 하나씩 위상시프터를 사용하여 위상을 반전시켜, 인접하는 두 투광부를 통과한 위상이 반대인 빛들이 차광부에서 서로 상쇄되는 마스크.