레티클 스테이지 마스크 스테이지 - reticle stage mask stage

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레티클을 미동(微動)시켜, 노광위치를 결정하는 기구. 같은 방법으로 마스크를 움직여 노광위치를 결정하는 기구를 마스크 스테이지라고 한다.

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