레티클 - reticle

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스테퍼(stepper) 또는 포토 리피터(photo repeater)에 이용되는 포토 마스크. 레티클 위에는 IC패턴 원판보다 1～10배의 패턴이 형성되어, 이것을 스테퍼로 웨이퍼 위에, 또는 포토 리피터로 포토 플레이트(photo plate) 위에 투영 (投影)노광시킨다.

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