분해능 해상도 - resolving power resolution

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트의 미세한 상(像)을 표현하는 능력. 일반적으로 라인 앤드 스페이스 상(line and space image)을 형성할 수 있는 최소의 선 또는 공간의 폭(m)을 나타낸다. C014 R : 해상도 λ : 광원의 파장 NA : 렌즈의 개구수 K : 공정상수