저항가열 진공증착 장치 - resistance heating evaporation system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

W, Ta, Mo 등 높은 용융점을 가진 물질로 만들어진 히터와 BN 등의 화합물재료에 전기를 통하여 집적 증발재료를 가열 증발시키는 직접가열식장치와, 도가니와 발열체로 구성된 간접가열식장치로 구분된다. 진공증착장치 중에서 가장 간단하고, 안정된 에너지 상태를 이용한다는 장점이 있다.

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