레지스트막두께검사 - resist thickness inspection

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

블랭크에 도포된 레지스트막의 두께를 측정하는 것. 보통, 베이킹(baking)처리 후, 접촉침법에 의해 행해진다.