기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

레지스트 온도조정 - resist temperature control

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
레지스트를 도포할 때, 균일성 향상을 위해, 레지스트의 온도를 제어하는 것. 설정온도는 분위기온도와 웨이퍼온도 및 레지스트 중의 용제의 특성에 의해 최적화 된다.