기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

레지스트 처리장치 - resist processing equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
웨이퍼 처리공정 중에 레지스트를 도포, 현상 또는 베이킹하기 위한 장치. 도포장치, 현상장치, 베이킹장치로 구분된다.