기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

레지스트 안정화 시스템 - resist curing system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
현상 후의 레지스트 패턴의 형상이 보다 높은 온도까지 유지되도록 하는 장치. 현상 후에 가열, 자외선조사 또는 양자의 병용(倂用)에 의해 처리한다.