레지스트 도포 장치 - resist coater

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 블랭크에 레지스트를 도포하는 장치인데, 스핀식 도포장치 또는 롤러식 도포장치가 있다.