흑결함수정 - repair of opaque defect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기판 위의 불투명결함(흑결함)부를 식각․레이저트리밍․스퍼터링 등으로 제거하고, 투명하게 하여 결함을 수정하는 것. 리프트온법․스퍼터링법 등이 있다.