백결함수정 - repair of clear defect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기판 위의 투명결함(백결함)부분에 C, Cr 등의 불투명물질을 부착시켜 결함을 수정하는 것. 리프트오프법․레이저 CVD법․이온빔유기 CAD법․스퍼터링법 등이 있다.