기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

기준면 - reference plane

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
웨이퍼 평탄도를 측정하거나 웨이퍼면을 노광할 때에 기준이 되는 평면.