저압기상 에피택셜 성장장치 - reduced(low) pressure vapor phase epitaxial growth system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

저압상태에서 기상에피택셜성장을 하는 장치. 웨이퍼에서의 자동도핑(auto doping)이 감소하기 때문에, 급격히 변하는 조성분포를 얻는 등의 이점이 있다.