리시피 - recipe

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼처리공정을 제어하기 위해, 각 공정장치에의 공정시퀀스 및 제어 파라미터(온도, 압력, 가스의 종류 및 가스유량, 시간 등의 제어목표치)에 관련한 장치의 처리공정 프로그램.