리시버 - receiver

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

처리 후의 마스크, 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 카세트를 탑재하고 있으며, 기판을 처리장치로부터 받는 장치