반응성 스퍼터링 장치 - reactive sputtering system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

화학반응이 일어나는 화합물박막(산화막, 질화막 등)을 부착할 수 있다. 아르곤 등의 활성가스를 주입시킨 스퍼터링장치 내에 금속 등의 소재를 스퍼터링하여, 금속화합물박막 등을 형성할 수 있다.