반응성이온 (스퍼터) 식각장치 RIE 장치 - reactive ion (sputter) etching system RIE system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반응성가스 플라즈마를 이용한 건식식각 장치에서, 웨이퍼를 식각실내에 설치된 전극 위에 올려놓고 식각하는 장치. 웨이퍼는 중성라디칼과 반응성가스 이온의 상승효과로 식각된다.