반응성이온빔식각장치 RIBE 장치 - reactive ion beam etching system RIBE

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반응성가스에 의한 플라즈마를 이온원에서 발생시켜, 반응성가스 이온 및 중성라디칼를, 이온원과 분리된 시료대 위의 웨이퍼에 조사하여 식각을 진행하는 장치.