RPT - rapid thermal process

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

열처리에 있어서, 스루풋을 향상시키는 등의 목적으로, 급속도로 온도를 상승, 하강시키는 조작 또는 공정.