급냉로 - rapid cooling system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

산화, 확산 및 CVD장치에 있어서, 노 안의 온도를 급속히 저하시킬수 있는 전기로. 웨이퍼를 처리하는 온도와 웨이퍼를 꺼낼 때의 온도가 다를 경우, 쓰로풋을 향상시킬 수 있다.