램프업 - ramp up

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 열처리반응로 안에 삽입한 후, 처리온도까지 어떤 정해진 속도로 온도를 상승시키는 것. 단위시간당 상승온도. 반대로 정해진 속도로 온도를 하강시키는 것을 쿨다운(cool down)이라고 한다.