고주파 워크코일 - radio frequency workcoil

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

Si, GaAs 등의 반도체 웨이퍼를 가열할 때에, 이것들을 탑재하는 피가열물체(서셉터)를 가열하기 위해 근방에 배치된 유도코일. 유도코일에 고주파전력을 인가해, 도체인 피가열물체에 전자유도로 발생하는 과전류로 발생하는 열을 이용한다.