기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
석영관 세정장치 노심관 (爐心管) 세정장치 - quartz (furnace) tube cleaning equipment
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
확산처리와 CVD에 사용되는 석영관을 세정하는 장치. 수평형과 수직형이 있고, 일반적으로 식각(불소 사용), 순수세정, 건조의 처리를 행한다.
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