펄스레이저 노광 - pulse laser exposure method

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

KrF의 엑시머레이저로 대표되는 간헐(間歇)광선의 레이저광원을 사용하는 노광. 고압수은 등의 i선, g선 등의 연속발광 광선을 사용하는 노광방법과 구별하는 용어