퍼들현상 - puddle developing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트현상의 한 방법으로, 현상액의 표면장력을 이용하여 웨이퍼 위에 현상액을 뿌리고, 웨이퍼는 정지된 상태에서 30～60초 정도 현상하는 것.