근접효과보정 - proximity effect correction

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

근접효과에 의한 도형의 왜곡을 보정하는 것으로, 다음의 두가지 종류가 있다. (1)도형내 근접효과보정 : 도형 모서리부에 축적된 전하량이 부족한 것을 보충하기 위한 것으로써, 도형을 세분하여, 모서리부의 전자빔의 조사량을 증가시키는 방법이 있다. (2)도형간 근접효과보정 : 도형과 도형 사이에서 발생하는 근접효과를 보정하기 위한 것으로써, 조사량(照射量)을 조절하는 방법과, 도형 치수의 증가가 예측되는 부분을 미리 작게 하는 방법이 있다.

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