공정 튜브 - process tube

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

열처리장치에 있어서, 직접 장치 안의 내부에 고순도가스 등을 주입시킨 웨이퍼를 처리하기 위한 튜브의 총칭. 주로 고순도 석영가스가 사용되지만, 고온 공정용으로써는 실리콘카바이드(SiC)가 사용된다.