공정바이어스 - process bias

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

선폭의 재현성이 최적화된 노광, 공정조건하에서 패턴 데이터 위의 선폭과, 마스크 위에 형성된 패턴의 선폭이 통계적으로 차이가 나는 것.