공정구역 - process area

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

청정실 배치에 있어서, 장치와 웨이퍼와의 주고받으며 운반하는 구역. 고청정환경이 요구된다. 서비스영역과는 파티션패널(partition panel)로 구분된다.