PSA - pressure swing adsorption

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

흡착재를 이용하여, 압력변동 흡착에 의해 대기중의 질소 또는 산소성분을 선택적으로 농축분리하는 장치. 본 장치체서 공급된 질소가스의 순도는 99.9～99.99%정도이고, 주로 반도체제조의 후공정용분위기가스로써 사용된다.