프리웻 - pre - wet

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

메인 스프레이현상 또는 퍼들현상 전에, 물 또는 농도가 낮은 현상액을 웨이퍼 위에 수 초간 적하(滴下)하고, 레지스트의 표면이 현상액에 적응하도록 하는 것.