프리클리닝 챔버 - pre - cleaning chamber

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

증착 전에 웨이퍼표면을 세정하는 전용 챔버. 멀티챔버형의 장치로 많이 이용되고 있다.