프리스퍼터링 - pre - sputtering

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스퍼터링장치에 있어서, 웨이퍼에 막을 성장시키기 전, 타겟 표면의 오염층(자연산화막을 포함)의 제거와 타겟표면의 안정화를 위해 실시되는 예비 스퍼터링. 보통은 셔터를 닫은 상태에서 스퍼터링한다.